市場新聞
Market News
PT-IGBT與NPT-IGBT的差異
2021-12-17
1、PT-IGBT
圖1其實是PT型1GBT芯片的內部結構,圖2(c)是其導電的工作原理。所言的PT(PunchThrough,穿通型),指的是電場穿透了N-漂移區(qū)(圖1中③),電子與空穴的重要匯合點在N1區(qū)[圖1(c)]。
NPT在實驗室內完成的時間段(1982年)要早于PT(1985),但工藝上的因素促使PT規(guī)模商用化的時間段比NPT早,因此第1代igbt模塊商品以PT型為主。
2、NPT-IGBT
所言的NPT(Non-PunchThrough,非穿通),指的是電場沒穿透N-漂移區(qū),構如下圖3所顯示。NPT的基礎工藝的工作原理是撤消N十緩沖區(qū)(圖1中的④),直接在集電區(qū)(圖1中的⑤)注入空間電荷形成高阻區(qū),電子與空穴的重要匯合點換作了P十集電區(qū)。這項工藝又被稱作離子注入法、離子摻雜工藝。
3、PT-igbt模塊與NPT-igbt模塊生產工藝與技術性的差異
PT與NPT生產工藝的差異如下所示:
PT-igbt模塊芯片的制造從集電區(qū)(P+背發(fā)射區(qū))開始,先在單晶硅的反面形成低摻雜的P+發(fā)射區(qū),之后用外延工藝在單晶硅的正面逐一形成N十緩沖區(qū)、MOS構造。
NPT-igbt模塊芯片的制造從基區(qū)(N-漂移區(qū))開始,先往N型單晶硅的正面形成MOs構造,之后用研磨減薄工藝從反面減薄到igbt模塊電壓規(guī)格要L的厚度,再從反面用離子注入工藝形成集電區(qū)。
PT-igbt模塊與NPT-igbt模塊介紹
igbt模塊的構造各式各樣,但從縱向構造來說可歸為穿通型,非穿通型。這2種igbt模塊的區(qū)分依據為:臨界擊穿電壓下Pbase-Ndrift結耗盡層的擴展能否穿透了N-基區(qū)。
PT(punchthrough):最“古老”的igbt模塊工藝,在1980~1990年間占領主導作用,第1代igbt模塊便是使用的PT工藝。
NPT(non-punchthrough):NPT-igbt模塊由德國西門子公司于1987年推行,為上世紀90年代的主流產品。第2代igbt模塊使用NPT工藝。
以上就是傳承電子對PT-IGBT與NPT-IGBT的差異介紹,傳承電子是一家以電力電子為專業(yè)領域的功率半導體模塊制造商,為眾多的企業(yè)公司提供功率半導體模塊的定制、生產和加工,同時還給眾多公司提供來料代工或貼牌加工業(yè)務。主要產品為各種封裝形式的絕緣式和非絕緣式功率半導體模塊、各種標準和非標準的功率半導體模塊等。
圖1其實是PT型1GBT芯片的內部結構,圖2(c)是其導電的工作原理。所言的PT(PunchThrough,穿通型),指的是電場穿透了N-漂移區(qū)(圖1中③),電子與空穴的重要匯合點在N1區(qū)[圖1(c)]。
NPT在實驗室內完成的時間段(1982年)要早于PT(1985),但工藝上的因素促使PT規(guī)模商用化的時間段比NPT早,因此第1代igbt模塊商品以PT型為主。
2、NPT-IGBT
所言的NPT(Non-PunchThrough,非穿通),指的是電場沒穿透N-漂移區(qū),構如下圖3所顯示。NPT的基礎工藝的工作原理是撤消N十緩沖區(qū)(圖1中的④),直接在集電區(qū)(圖1中的⑤)注入空間電荷形成高阻區(qū),電子與空穴的重要匯合點換作了P十集電區(qū)。這項工藝又被稱作離子注入法、離子摻雜工藝。


PT-igbt模塊芯片的制造從集電區(qū)(P+背發(fā)射區(qū))開始,先在單晶硅的反面形成低摻雜的P+發(fā)射區(qū),之后用外延工藝在單晶硅的正面逐一形成N十緩沖區(qū)、MOS構造。
NPT-igbt模塊芯片的制造從基區(qū)(N-漂移區(qū))開始,先往N型單晶硅的正面形成MOs構造,之后用研磨減薄工藝從反面減薄到igbt模塊電壓規(guī)格要L的厚度,再從反面用離子注入工藝形成集電區(qū)。
PT-igbt模塊與NPT-igbt模塊介紹
igbt模塊的構造各式各樣,但從縱向構造來說可歸為穿通型,非穿通型。這2種igbt模塊的區(qū)分依據為:臨界擊穿電壓下Pbase-Ndrift結耗盡層的擴展能否穿透了N-基區(qū)。
PT(punchthrough):最“古老”的igbt模塊工藝,在1980~1990年間占領主導作用,第1代igbt模塊便是使用的PT工藝。
NPT(non-punchthrough):NPT-igbt模塊由德國西門子公司于1987年推行,為上世紀90年代的主流產品。第2代igbt模塊使用NPT工藝。
以上就是傳承電子對PT-IGBT與NPT-IGBT的差異介紹,傳承電子是一家以電力電子為專業(yè)領域的功率半導體模塊制造商,為眾多的企業(yè)公司提供功率半導體模塊的定制、生產和加工,同時還給眾多公司提供來料代工或貼牌加工業(yè)務。主要產品為各種封裝形式的絕緣式和非絕緣式功率半導體模塊、各種標準和非標準的功率半導體模塊等。
關注微信公眾號,了解更多資訊
